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供氣系統(tǒng)的選擇

更新時(shí)間:2023-08-02  |  點(diǎn)擊率:1355

1.  簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng) 
簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)主要針對(duì)4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠(chǎng)、半導(dǎo)體材料的科研機(jī)構(gòu)以及一些單臺(tái)的工藝設(shè)備等。它們的制程簡(jiǎn)單,通常不需要連續(xù)性供氣,對(duì)氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算低。

2. 由于氣體流量小,不經(jīng)常使用,特種氣體氣源多采用普通鋼瓶(<50L)。輸送系統(tǒng)多采用半自動(dòng)氣瓶柜或氣瓶架加簡(jiǎn)單的控制面板;配置繼電器控制,自動(dòng)切換,手動(dòng)吹掃,手動(dòng)放空,有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng),有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個(gè)氣體房,甚至沒(méi)有氣體房,特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道,或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒(méi)有特別危險(xiǎn)氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng)。簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。

2. 常規(guī)供氣系統(tǒng) 
常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠(chǎng),50MW以下的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(xiàn),發(fā)光二極管的芯片工序線(xiàn)以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對(duì)氣體純度控制的要求不苛刻,系統(tǒng)配備在滿(mǎn)足安全的前提下盡量簡(jiǎn)單,節(jié)省投資。

特種氣體采用普通鋼瓶(<50L)供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動(dòng)PLC控制器,彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動(dòng)閥門(mén)和壓力傳感器,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換,自動(dòng)氮?dú)獯祾?,自?dòng)真空輔助放空;多重安全防護(hù)措施,泄漏偵測(cè),遠(yuǎn)程緊急切斷;專(zhuān)用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊取MB采用支路氣動(dòng)閥,氮?dú)獯祾?,真空輔助排空。惰性氣體多采用半自動(dòng)氣瓶架,繼電器控制,自動(dòng)切換,手動(dòng)吹掃,手動(dòng)放空;VMB主管氣動(dòng)閥,氮?dú)獯祾?;支路氣?dòng)閥,氮?dú)獯祾?,真空輔助排空。氣體房和抽風(fēng)系統(tǒng)根據(jù)氣體性質(zhì)進(jìn)行分類(lèi)。               

特氣柜氣瓶間(1).jpg

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